北京有色金属研究总院利用FEMAG软件 改进300mm直拉单晶硅的微缺陷-成功案例-飞行模拟器

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2018-03-27

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  师长胡长青因饿加病送回洛阳。副师长凌冬青因身体衰弱无食,但决不投降,最后虚弱无力而饿死,于是,师部瘫痪,师肖参谋长率师部极少人员随一三五团行动。抗战中牺牲的国军将领从5月至9月,一三五团由团长吴建新一人率领,没有副团长,没有营长,全团只有300多人,踏遍了太行山的重峰叠峦,到了衣架山这个较安全的宿营地。

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通过Cu缀饰实验和流体图案缺陷(flowpatterndefect,FPD)密度测量,将所得微缺陷类型、浓度的实验结果与晶体生长速度对硅晶体微缺陷影响的数值模拟结果进行了对比,实验结果验证了数值模拟的结果。 依据数值模拟与实验结果的结合,有色金属研究总院在原有的加工工艺基础上进行改进,在300mm直拉硅单晶生长过程中改进了CUSP磁场参数,优化了晶体生长速度的控制,对整个加工过程中的热场进行改进,使得最终微缺陷的产生较以往有了很大的改观。

北京有色金属研究总院(简称:有研总院)创建于1952年11月,是我国有色金属行业规模最大的综合性研究开发机构,现为国务院国资委管理的中央企业和国家首批百家创新型企业。 在半导体材料、有色金属复合材料、稀土材料、生物冶金、材料制备加工、分析测试等领域拥有11个国家级研究中心和实验室,目前承担了一批国家重大科技专项研究课题和国家战略性新兴产业开发项目。 建院以来,共获得国家级和省部级科技成果奖励1000余项,授权专利和制订国家及行业标准1500余项。

先后为两弹一星、神舟飞船、载人航天、探月工程等国家重点工程和有色金属行业提供了一大批新材料、新工艺、新技术和新设备,为我国有色金属工业和国防军工建设提供了强有力的科技支撑。

有研总院高度重视科技成果的转化,组建了若干高技术产业化公司,并在微电子材料、光电子材料、稀土材料、有色金属粉末、特种有色金属加工材料、新能源材料、高端冶金装备等方面形成了产业集群。 2011年,有研总院实现收入亿元,利润总额亿元。

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